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是運用四探針測量原理 的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、快狀半導體材料徑向和軸向電阻率，測量片狀半導體材料的電阻率和擴散層的薄層電阻（方塊電阻），換上特制的四探針測試夾，還可以對金屬導體的低中值電阻進行測量。此外，探針經(jīng)過特殊加工后，還可以測量薄膜材料電阻率。廣泛適用于半導體材料、器件廠、高等院?；瘜W物理系、科研單位，對半導體材料的電阻性能測試。
本儀器測試探頭采用寶石導向軸套和高耐磨碳化鎢探針，定位準確，游移率小，使用壽命長。

數(shù)字式四探針測試儀|SZT-1|
技術參數(shù)：
1． 測量范圍：
電阻率：10的-4次方~10的3 次方Ω-cm
電阻：10的-6次方 ~10的5 次方Ω
方塊電阻：10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□
導電類型鑒別：電阻率范圍 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm
2． 可測半導體材料尺寸
直徑：φ15~100 mm
長度：≤400mm
3． 測量方法：
軸向、斷面均可
4． 顯示方式：31/2,數(shù)顯,極性、過載自動顯示，小數(shù)點、單位自動顯示。
5． 恒流源：
（1） 電流輸出：直流電流0~100 mA連續(xù)可調(diào)。
（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA
（3） 誤差：±0.5%讀數(shù)±2個字
6.四探針測試探頭
（1） 探針間距:1mm
（2） 材料:碳化鎢.探針機械游移率:±1.0%